您的位置•◕◕·: 網站首頁 >> 新聞資訊 >> 只有瞭解三維表面形貌測量儀的測量原理▩╃·↟•,才能更好的使用

只有瞭解三維表面形貌測量儀的測量原理▩╃·↟•,才能更好的使用

釋出日期•◕◕·: 2019-07-29
瀏覽人氣•◕◕·: 1495
  三維表面形貌測量儀具有高解析度╃│·•、大量程╃│·•、低成本的特點↟│。該三維表面形貌測量儀由基於直線相位衍射光柵干涉原理的微位移感測器╃│·•、X-Y二維工作臺╃│·•、立柱╃│·•、光電探測器以及訊號處理電路╃│·•、計算機及資料處理軟體組成↟│。該輪廓儀工作臺的工作範圍為50 mm×50 mm,小步距為0.2μm▩╃·↟•,工作臺計量系統的解析度為0.05μm▩╃·↟•,微位移感測器理論垂直解析度可達到0.12 nm▩╃·↟•,實際測量量程為2 mm▩╃·↟•,透過更換測杆可以達到6 mm的測量量程↟│。
 
  三維表面形貌測量儀的測量原理•◕◕·:
 
  低相干白光同時照射樣品和參考平面▩╃·↟•,被樣品和參考平面反射的兩束白光發生干涉後由陣列式CMOS探測器接收▩╃·↟•,由於探測器直接與訊號處理晶片(Smart Pixel技術)連線▩╃·↟•,所以陣列上每個畫素點的訊號都在晶片中完成鎖相放大▩╃·↟•,背景訊號補償和結果計算輸出▩╃·↟•,成像於計算機就實現了樣品表面的快速三維形貌測量↟│。
 
三維表面形貌測量儀的突出特點•◕◕·:
 
  1╃│·•、全自動•◕◕·:測量簡單且自動化程度高▩╃·↟•,如自動更換物鏡等↟│。
 
  2╃│·•、高測量速度•◕◕·:InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒↟│。
 
  3╃│·•、模組化和可擴充套件性•◕◕·:新的功能可以很容易透過擴充套件測量模式整合↟│。
 
  4╃│·•、和•◕◕·:LED環形燈的設計▩╃·↟•,使表面測量的範圍幾乎不受限制↟│。
 
  5╃│·•、高分辨▩╃·↟•,高可重複性和可溯源•◕◕·:即使對於複雜樣品表面▩╃·↟•,仍可以獲得高達10奈米的垂直解析度↟│。
 
  6╃│·•、一款的3D光學測量儀•◕◕·:InfiniteFocus G5整合了微型三座標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能↟│。
分享到•◕◕·:
北京奧德利諾儀器有限公司
版權所有©2018 北京奧德利諾儀器有限公司 備案號•◕◕·:京ICP備18020349號-3
  • 010-62930470

  • 掃一掃,關注我們

激情无码人妻又粗又大,欧洲多毛bbbbxxxx,免费a片在线观看,国产v片在线播放免费无码
掃一掃訪問手機站掃一掃訪問手機站
訪問手機站